|
|
Л.Р. Шагінян
НАН України, Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України. — К. : Академперіодика, 2017. — 174 с. — ISBN 978-966-360-326-1. — (Українська наукова книга іноземною мовою).
У фокусі книги — загальні механізми та базові фізичні фактори, які впливають на формування складу і структури плівок, отриманих різноманітними методами фізичного осадження — іоним та іонно-реакційним осадженням, різними модифікаціями магнітронного розпилення та лазерним випаровуванням. На основі різноманітних досліджень широкого спектра плівкових матеріалів і покриттів (метали, напівпровідники, дієлектрики) автор показує, що форма плівкоутворювальних частинок (атоми, атомні кластери, молекули), їхня енергія та енергія частинок, що бомбардують поверхню конденсації у процесі росту покриття, є універсальними факторами, які визначають склад та структуру плівки. Ці фактори визначені методом отримання плівки та залежать від фізико-технологічних параметрів процесу осадження. На багатьох прикладах автор демонструє: якщо потік плівкоутворювальних частинок — це суміш атомів та молекул та / або поверхня росту плівки підлягає неконтрольованому бомбардуванню енергетичних частинок, тоді отримання плівки з високоякісною кристалічною мікроструктурою і потрібним хімічним складом є проблематичним, а сам процес осадження слабко контрольованим. Повну керованість процесу осадження плівки можна забезпечити у випадку гомогенності потоку плівкоутворювальних частинок одночасно з керуванням енергією частинок, що разом із плівкоутворювальними надходять на поверхню росту плівки.
Матеріали, представлені у книзі, можуть бути корисними для технологів та вчених, тих, хто цікавиться проблемами технології та фізики плівок і покриттів. За допомогою викладеної інформації технологи зможуть зробити правильний вибір методу отримання плівок із потрібними властивостями, а вчені зможуть передбачити властивості плівок залежно від методу їх отримання і вказати шляхи керування їхніми властивостями.
|
